鳥(niǎo)牌7037系列半導體制程射頻功率量測系統特點(diǎn)

Precision RF Pulse Sensors 7037類(lèi)別:半導體制程射頻功率量測系統

簡(jiǎn)介:7037系列RF脈沖功率傳感器擁有0.5%的測是精度，它為實(shí)驗室和半導體Fab測試帶來(lái)驚人的可追溯精度，在校準的頻率下，精度為0.5%6，可用于測是RF脈沖波形內的門(mén)控功率。

7037系列

適用于半導體應用的精度為0.5%的精密脈沖功率傳感器精-湛的準確性!

7037系列RF脈沖功率傳感器為實(shí)驗室和半導體fab環(huán)境帶來(lái)驚人的可追溯精度。旨在為研發(fā)和工藝工程師提供易用性和可靠的數據在校準的頻率下，這些傳感器的精度為0.5%，可用于測量RF脈沖波形內的門(mén)控功率。校準可追溯到美國國家標準技術(shù)研究院(NIST)，因此您可以對這些傳感器提供的測量的質(zhì)量和準確性充滿(mǎn)信心。

產(chǎn)品特點(diǎn)

時(shí)域顯示

多電平脈沖內多達4個(gè)狀態(tài)的平均功率測量

在校準頻率下，在整個(gè)動(dòng)態(tài)范圍內能夠實(shí)現±0.5%的功率測量精度，

NIST可追溯校準

諧波濾波

外部同步輸入

射頻互鎖(可選)

可通過(guò)SCPI命令集編程

優(yōu)點(diǎn):

通過(guò)射頻發(fā)生器的校準和驗證，這些高精度傳感器使人們對射頻發(fā)生器的輸出充滿(mǎn)信心。使用VPM3-MSP軟件記錄和分析來(lái)自實(shí)驗配方的RF功率數據，以簡(jiǎn)化流程開(kāi)發(fā)?，F場(chǎng)過(guò)程監視允許在運行時(shí)實(shí)時(shí)監視過(guò)程以檢測異常。RF脈沖波形的時(shí)域分析可以更仔細地觀(guān)察高功率RF脈沖